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化學用噴槍的簡單介紹


化學用噴槍拋光漿CMP(化學/機械拋光)漿,液體拋光蠟,它能夠以高的選擇性,快速去除目標層,并能夠有效鈍化拋光停止層。一方面,CMP漿包含金屬氧化物研磨顆粒、去除加速劑、分子量為約1,000到約100,000的陰離子聚合物鈍化劑、C1-C12陰離子鈍化劑和水。
在化學/機械噴槍拋光晶片中使用的漿,所述漿包含: 金屬氧化物研磨顆粒,去除加速劑,陰離子聚合物鈍化劑,它具有在約1,000到約100,000范圍的分子量,C1-C12陰離子鈍化劑和水。化學拋光漿主要用于化學拋光中,適和半導體器件的精密拋光,與平常的機械拋光不同。
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