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拋光液的超精密拋光技術怎么樣


拋光液的超精密拋光技術作為制造業發展的標志之一,已深入到了航空航天、軍事、集成電路、民用設備等諸多領域。但目前國內發展水平仍處于較低階段,對拋光原理了解不夠深入,加工過程也過多的依賴經驗,效率低下。本文受“先進制造技術與裝備”東莞市重中之重學科項目資助,運用拋光液虛擬樣機這一近年來得到迅速發展和廣泛運用的先進制造技術對超精密雙面拋光機的機械去除作用進行了深入分析。重點研究了拋光工藝參數、加工工件的運動特性以及拋光結果三者間的關系。
主要研究內容如下:
針對化學機械拋光的影響因素,和雙面拋光機的結構功能特點,在理論分析的基礎上,采用三維實體建模軟件SolidWorks與動力學分析軟件ADAMS聯合建模,定義了拋光機構的虛擬樣機。
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