拋光液的的特點、適用范圍以及運輸保存的介紹
拋光液具有金屬雜質沾污極少、易清洗、拋光速率高、損傷層小、平整度高等特點。在拋光中根據需要可以優化不同配比，拋光液均能達到最佳使用效果。拋光液該產品具有濃縮度高、磨料粒徑小、表面張力小、對有機物、金屬離子及顆粒容易清洗、拋光速率高（0.8～1.5μm/min）、高溫不出現非均化蝕坑等優點。
拋光液主要用于多重擴散硅片的高質量拋光，也可用于原始鍺、石英、二氧化硅、藍寶石等材料的拋光工藝，還可用于擴散片的拋光。
拋光液的運輸及保存：1、運輸與存放溫度為5℃～50℃，存放時應避光，以避免漿料變質。2、保質期一年，建議半年內使用。3、避免金屬、顆粒污染，避免強電解質的接觸。
