拋光液的運輸及保存
1、運輸與存放溫度為5ºC～50ºC。存放時應避光，以避免漿料變質。
2、保質期一年，建議半年內使用。
3、避免金屬、顆粒污染，避免與強電解質的接觸。
拋光液在拋光中根據需要可以優化不同配比，均能達到最佳使用效果。與美國和日本的同類產品相比，該產品采用無金屬離子、易溶于水的螯合劑，有效控制晶片表面的各種沾污，主要參數指標上均能滿足IC要求。
